MEMS探针头产业链全景图谱
零部件
微针阵列
微针阵列是一种由高精度微针组成的独立单元，作为MEMS探针头的关键子部件，位于产业链的中游制造环节，主要功能是提供精确可靠的电气接触，确保半导体测试和测量设备的信号完整性与准确性。
其他生产性服务
MEMS制造服务
MEMS制造服务是微机电系统产业链中的核心制造环节，提供定制化微加工和组装服务，其高精度工艺直接决定MEMS传感器和执行器等设备的性能与可靠性。
零部件
MEMS探针头
MEMS探针头是半导体测试设备中的关键组件，位于中游制造环节，通过微针阵列直接接触芯片引脚进行电气测试，以验证芯片功能并提升生产良率。
节点特征
物理特征
硅基微机电结构
微米级针阵列形态（针径<50μm）
高定位精度（±1μm）
需要洁净室（Class 1000或更高）制造环境
标准针距规格（如100μm间距）
功能特征
提供芯片引脚电气连接
低接触电阻（<0.5Ω）确保信号完整性
支持高频信号传输（>1GHz）
用于晶圆级功能测试和故障诊断
提升测试吞吐量和良率控制
商业特征
市场高度集中（CR3>60%）
高技术壁垒（专利密集型和know-how要求高）
价格敏感于半导体设备需求波动
中等资本密集度（设备投资占成本30-50%）
毛利率较高（>40%）
典型角色
测试设备性能的核心决定因素
半导体制造中的技术瓶颈点
供应链中的差异化竞争环节
终端品
MEMS探针卡
MEMS探针卡是基于微机电系统（MEMS）技术的半导体测试设备，位于半导体产业链的中游测试环节，主要用于集成电路芯片的电气性能测试，确保芯片的质量和可靠性。